气相渗透炉
先进陶瓷
气相渗透炉
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一、设备用途:
气相渗透炉主要用于CVD和CVI工艺制备C/C、C/SIC及SIC/SIC复合材料,力学性能优异,
适用于航空航天级别碳基及SIC基复合材料,该设备可用于纵项目SIC包壳管的研制。
C/C复合材料,C/SIC陶瓷基复合材料,热解碳涂层,SIC涂层,以及SIC/SIC复合材料制备。
二、设备特点:
1 立式结构,双层水冷结构设计,炉壳用耐腐蚀材料制成。
2 独特的内罩进排气结构,热场温度均匀性好。
3 气氛控制精确,真空系统配有过滤器,可选配尾气处理系统。
4 控制系统采用PLC加触摸屏控制方式,操作方便,简单。
5 主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌,性能稳定、可靠。
三、主要技术参数:
No. | 型号 | 工作区尺寸 | 高温度 | 真空度 | 压升率 | 温度均匀性 | 功率 |
1 | ZT-60-13 | Ø300X600mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 48KW |
2 | ZT-145-13 | Ø500X1500mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 135KW |
3 | ZT-160-13 | Ø600X1500mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 160KW |
4 | ZT-240-13 | Ø800X1500mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 240 |